دوره 20، شماره 1 - ( مجله مهندسی برق و الکترونیک ایران - جلد 20 شماره 1 1402 )                   جلد 20 شماره 1 صفحات 8-1 | برگشت به فهرست نسخه ها


XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Kheirolahi Hossein Abadi M, Koohsorkhi J, Ghasemi Kordlar A. Four-wire orthogonal structure for accurate measurement of fluid velocity and wind flow direction using silicon micro-machining on silicon nitride membranes. Journal of Iranian Association of Electrical and Electronics Engineers 2023; 20 (1) :1-8
URL: http://jiaeee.com/article-1-1431-fa.html
خیرالهی حسین آبادی مهدی، کوهسرخی جواد، قاسمی کردلر امیر. ساختار متعامد چهار سیمی برای اندازه گیری دقیق سرعت و جهت فلوی سیال و باد با استفاده از میکرو ماشینکاری سیلیکان روی غشاء نیترید سیلیکان. نشریه مهندسی برق و الکترونیک ایران 1402; 20 (1) :8-1

URL: http://jiaeee.com/article-1-1431-fa.html


دانشکده علوم و فنون نوین- دانشگاه تهران
چکیده:   (253 مشاهده)
حسگرهای میکرو الکترومکانیکی حرارتی یکی از دقیقترین و مهترین ابزارها برای تشخیص جهت و شدت یک سیال و موج آکوستیکی به حساب می­آیند. تشخیص جهت و سرعت باد و هر سیالی در رنجهای مختلف کاربردهای مختلف از جمله هواشناسی، نیروگاه­های بادی، اندازه گیری فلوی گاز در کنتورهای هوشمند شهری و گاز ورودی به نیروگاه های گازی، دارد. در این مقاله یک حسگر برای اندازه­گیری همزمان سرعت و جهت سیال طراحی و ساخته شده است. از نرم افزار کامسول برای شبیه­سازی و طراحی استفاده شده است. برای افزایش حساسیت و کاهش انتقال حرارت ساختار با بدنه حسگر، کل المان حسگری روی یک غشاء سیلیکانی ساخته شده است.  برای تشخیص جهت از یک ساختار چهار سیمی متعامد استفاده شده است که قابلیت اندازه­گیری جهت را تا 5 درجه فراهم می کند. برای مشخصه یابی این حسگر یک ست آپ آزمایشگاهی طراحی و ساخته شد و حسگر تا سرعت های 5 متر بر ثانیه که بازه فلومترهای صنعتی، بادهای ملایم و کنتورهای گازهای شهری است مورد آزمایش قرار گرفت. با تغییر فاصله سیمها این حسگر قادر است تا سرعت های 30 متر بر ثانیه را اندازه ­گیری کند.
متن کامل [PDF 1266 kb]   (86 دریافت)    
نوع مقاله: پژوهشي | موضوع مقاله: الکترونیک
دریافت: 1400/11/2 | پذیرش: 1401/3/18 | انتشار: 1401/10/6

ارسال نظر درباره این مقاله : نام کاربری یا پست الکترونیک شما:
CAPTCHA

ارسال پیام به نویسنده مسئول


بازنشر اطلاعات
Creative Commons License این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License (CC BY NC 4.0) قابل بازنشر است.

کلیه حقوق این وب سایت متعلق به نشریه مهندسی برق و الکترونیک ایران می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2023 CC BY-NC 4.0 | Journal of Iranian Association of Electrical and Electronics Engineers

Designed & Developed by : Yektaweb