دوره 20، شماره 1 - ( مجله مهندسی برق و الکترونیک ایران - جلد 20 شماره 1 1402 )
جلد 20 شماره 1 صفحات 8-1 |
برگشت به فهرست نسخه ها
Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
Kheirolahi Hossein Abadi M, Koohsorkhi J, Ghasemi Kordlar A. Four-wire orthogonal structure for accurate measurement of fluid velocity and wind flow direction using silicon micro-machining on silicon nitride membranes. Journal of Iranian Association of Electrical and Electronics Engineers 2023; 20 (1) :1-8
URL: http://jiaeee.com/article-1-1431-fa.html
URL: http://jiaeee.com/article-1-1431-fa.html
خیرالهی حسین آبادی مهدی، کوهسرخی جواد، قاسمی کردلر امیر. ساختار متعامد چهار سیمی برای اندازه گیری دقیق سرعت و جهت فلوی سیال و باد با استفاده از میکرو ماشینکاری سیلیکان روی غشاء نیترید سیلیکان. نشریه مهندسی برق و الکترونیک ایران. 1402; 20 (1) :1-8
دانشکده علوم و فنون نوین- دانشگاه تهران
چکیده: (1413 مشاهده)
حسگرهای میکرو الکترومکانیکی حرارتی یکی از دقیقترین و مهترین ابزارها برای تشخیص جهت و شدت یک سیال و موج آکوستیکی به حساب میآیند. تشخیص جهت و سرعت باد و هر سیالی در رنجهای مختلف کاربردهای مختلف از جمله هواشناسی، نیروگاههای بادی، اندازه گیری فلوی گاز در کنتورهای هوشمند شهری و گاز ورودی به نیروگاه های گازی، دارد. در این مقاله یک حسگر برای اندازهگیری همزمان سرعت و جهت سیال طراحی و ساخته شده است. از نرم افزار کامسول برای شبیهسازی و طراحی استفاده شده است. برای افزایش حساسیت و کاهش انتقال حرارت ساختار با بدنه حسگر، کل المان حسگری روی یک غشاء سیلیکانی ساخته شده است. برای تشخیص جهت از یک ساختار چهار سیمی متعامد استفاده شده است که قابلیت اندازهگیری جهت را تا 5 درجه فراهم می کند. برای مشخصه یابی این حسگر یک ست آپ آزمایشگاهی طراحی و ساخته شد و حسگر تا سرعت های 5 متر بر ثانیه که بازه فلومترهای صنعتی، بادهای ملایم و کنتورهای گازهای شهری است مورد آزمایش قرار گرفت. با تغییر فاصله سیمها این حسگر قادر است تا سرعت های 30 متر بر ثانیه را اندازه گیری کند.
واژه‌های کلیدی: حسگر میکرو الکترومکانیکی، حسگر تشخیص جریان هوا، حسگر تشخیص سرعت سیال، حسگر حرارتی، میکروماشینکاری تودهای، سیم داغ، بادسنج
چکیده مبسوط [PDF 309 KB] (2 دریافت)
ارسال پیام به نویسنده مسئول
| بازنشر اطلاعات | |
 |
این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License (CC BY NC 4.0) قابل بازنشر است. |
