دوره 15، شماره 2 - ( مجله مهندسی برق و الکترونیک ایران - جلد 15 شماره 2 1397 )
جلد 15 شماره 2 صفحات 124-117 |
برگشت به فهرست نسخه ها
Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
esfandiari M, asadi R, heydari P. Design and Fabrication of Deformable Polymer Micromirror for Adaptive Optic Systems. Journal of Iranian Association of Electrical and Electronics Engineers 2018; 15 (2) :117-124
URL: http://jiaeee.com/article-1-648-fa.html
URL: http://jiaeee.com/article-1-648-fa.html
اسفندیاری مهرناز، اسدی رضا، حیدری پیام. طراحی و ساخت میکروآیینه شکل‌پذیر پلیمری جهت استفاده در سیستمهای اپتیک تطبیقی. نشریه مهندسی برق و الکترونیک ایران. 1397; 15 (2) :117-124
مجتمع مهندسی برق الکترونیک، دانشگاه مالک اشتر-تهران
چکیده: (3473 مشاهده)
دراین مقاله روشی نوین جهت ساخت میکروآیینه انعطافپذیر پلیمری مبتنیبر عملگرالکترواستاتیک ارائه شدهاست. میکروآیینههای انعطافپذیر معمولاً در سیستمهای اپتیک تطییقی جهت تصحیح اعوجاجهای موجود در جبهه موج نور بکار میروند ازاینرو میبایست دارای دیافراگمی منعطف باشند. در این تحقیق دیافراگم میکروآئینه، از جنس پلیمرSU-8 ساخته شده و بر روی آرایهای از الکترودهای ثابت قرارگرفتهاست. این دیافراگم با مدول یانگی حدود 50 برابر کمتر از نمونههای رایج سیلیکونی، امکان جابجایی دیافراگم بیشتر و در نتیجه قابلیت تصحیح ابیراها با ولتاژ کمتر را مقدور میسازند به گونه ای که دیافراگرم به شعاع mm5/2 و ضخامتμm 10 را با اعمال ولتاژ120ولت حدود μm 4 جابجا می کند . علاوهبراین، استفاده از مواد پلیمری بجای سیلیکون در ساخت دیافراگم، سادگی و کمهزینه بودن فرآیند ساخت را نیز به همراه دارد. اما دیافراگم های پلیمری رایج، صافی سطح کمتری در مقایسه با نمونههای سیلیکون دارند. دراین مقاله برای غلبه براین مشکل از راهکاری جدیدی برای ساخت میکروآیینه استفاده شده که علاوهبر تمام مزایای آیینه پلیمری از نظر صافی سطح با نمونههای سیلیکونی برابری میکند. نتیجه اندازه گیری ناهمواری سطحی حدود واریانس ناهمواری سطح 20 نانومتر را نشان داد. همچنین، به منظور بهینه کردن طرح ساختاری از شبیهسازی المان محدود استفاده شده است.
ارسال پیام به نویسنده مسئول
| بازنشر اطلاعات | |
 |
این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License (CC BY NC 4.0) قابل بازنشر است. |
