دوره 12، شماره 2 - ( مجله مهندسی برق و الکترونیک ایران - جلد 12 شماره 2 1394 )                   جلد 12 شماره 2 صفحات 24-15 | برگشت به فهرست نسخه ها

XML English Abstract Print

Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
Delaram Farimani S, Hajghasem H, Erfanian A R, Aliahmad M R. Design, Simulation and Fabrication of RF MEMS Capacitive Switch on Alumina Substrate. Journal of Iranian Association of Electrical and Electronics Engineers 2015; 12 (2) :15-24
URL: http://jiaeee.com/article-1-107-fa.html
دل آرام فریمانی سعید، حاج قاسم حسن، عرفانیان علیرضا، علی احمدی مجیدرضا. طراحی، شبیه‌سازی و ساخت سوئیچ خازنی RF MEMSبر روی بستر آلومینا . نشریه مهندسی برق و الکترونیک ایران. 1394; 12 (2) :15-24

URL: http://jiaeee.com/article-1-107-fa.html

طراحی، شبیه‌سازی و ساخت سوئیچ خازنی RF MEMSبر روی بستر آلومینا
سعید دل آرام فریمانی* ، حسن حاج قاسم ، علیرضا عرفانیان ، مجیدرضا علی احمدی
چکیده:   (5129 مشاهده)

در این مقاله طراحی، شبیه­سازی و ساخت یک سوئیچ خازنی RF MEMS موازی کم تلف بروی موجبر هم­صفحه و بستر عایق آلومینا، در باند فرکانس GHz 60-40 ارائه شده است. مکانیزم تحریک این سوئیچ بصورت الکترواستاتیکی است. ابتدا موجبر هم­صفحه برای داشتن امپدانس مشخصه Ω50 بروی بستر عایق آلومینا طراحی شده، سپس سوئیچ مورد نظر طراحی و پس از انتخاب ابعاد آن، پارامترهای مهم آن توسط شبیه­سازی المان محدود و موجی کامل با نرم افزارهای CoventorWare و HFSS بدست آمده است. در این مقاله نشان داده شده که سوئیچ طراحی شده دارای عملکرد مناسبی در این باند فرکانسی است، بطوریکه ولتاژ پایین کشنده v25/19، تلفات داخلی dB8/0، تلفات بازگشتی بیشتر از dB8/9 و مقدار ایزولاسیون نیز dB50 حاصل شده است. با توجه به ابعاد طراحی شده، نمونه آزمایشگاهی سوئیچ بروی بستر آلومینا ساخته شده که بر اساس اندازه­گیری­های صورت گرفته، مقدار تلفات داخلی dB5/2 و تلفات بازگشتی بیشتر از dB10 حاصل شده است.

واژه‌های کلیدی: سوئیچ RF MEMS، موجبر هم‌صفحه، تحریک الکترواستاتیکی، تلفات داخلی، ایزولاسیون
متن کامل [PDF 5527 kb]   (1775 دریافت)    
نوع مقاله: پژوهشي | موضوع مقاله: الکترونیک
دریافت: 1395/11/16 | پذیرش: 1395/11/16 | انتشار: 1395/11/16
ارسال نظر درباره این مقاله : نام کاربری یا پست الکترونیک شما:
CAPTCHA
بازنشر اطلاعات
Creative Commons License این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License (CC BY NC 4.0) قابل بازنشر است.

کلیه حقوق این وب سایت متعلق به نشریه مهندسی برق و الکترونیک ایران می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2025 CC BY-NC 4.0 | Journal of Iranian Association of Electrical and Electronics Engineers

Designed & Developed by : Yektaweb