دوره 19، شماره 3 - ( مجله مهندسی برق و الکترونیک ایران - جلد 19 شماره 3 1401 )                   جلد 19 شماره 3 صفحات 121-113 | برگشت به فهرست نسخه ها

XML English Abstract Print

Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
vara Z, Mehran M. Design, analysis and simulation of capacitive tilt microsensors. Journal of Iranian Association of Electrical and Electronics Engineers 2022; 19 (3) :113-121
URL: http://jiaeee.com/article-1-1056-fa.html
ورع زینب، مهران مهدیه. طراحی، تحلیل و شبیه سازی میکروسنسور شیب خازنی. نشریه مهندسی برق و الکترونیک ایران. 1401; 19 (3) :113-121

URL: http://jiaeee.com/article-1-1056-fa.html

طراحی، تحلیل و شبیه سازی میکروسنسور شیب خازنی
زینب ورع ، مهدیه مهران*
بخش مهندسی برق- دانشگاه شهید باهنر- کرمان
چکیده:   (1580 مشاهده)
در این مقاله برای اندازه‌گیری زاویه حول محور افقی (x)، میکرو‌سنسور های شیب خازنی مبتنی بر تکنولوژی MEMS طراحی، تحلیل و شبیه‌سازی شده اند. ساختار هر میکرو‌سنسور استوانه‌ای شکل است که خازن های بین انگشتی با الکترودهایی از جنس مس، بر روی یکی از قاعده های آن قرار گرفته اند. الکترودهای خازن‌های بین انگشتی به صورت یک در میان به ولتاژ های زمین و ترمینال وصل می شوند.  نیمی از حجم استوانه با روغن سیلیکون و نیمه­ دیگر با هوا پر شده است. با چرخش استوانه حول محور افقی به دلیل ثابت ماندن سطح روغن درون محفظه به علت گرانش، سطح الکترودهایی که درون روغن قرار می‌گیرند تغییرکرده، در نتیجه مقدار خازن های ساختار و بدنبال آن، خروجی تغییر می یابد. از این تغییرات برای اندازه‌گیری زاویه استفاده می‌شود. با یک تحلیل دقیق، تاثیر تغییرات زاویه بر ظرفیت خازن های ساختار و خروجی، مورد بررسی قرار گرفته است، بعلاوه ساختارهای پیشنهادی با کمک نرم­افزارCOMSOL Multiphysics شبیه­سازی شده­اند که نتایج حاصل از شبیه­سازی و تحلیل مؤید یکدیگر می باشند. دو ساختار به ترتیب با حساسیت های fF/deg 44 و  fF/deg88 زاویه را در بازه ° 90- تا °90+ یا °0 تا °180 اندازه گیری می کنند..
 
واژه‌های کلیدی: میکرو‌سنسور خازنی شیب، خازن‌های بین انگشتی، رنج اندازه‌گیری، حساسیت، دی الکتریک مایع.
متن کامل [PDF 1821 kb]   (1018 دریافت)    
نوع مقاله: پژوهشي | موضوع مقاله: الکترونیک
دریافت: 1398/10/21 | پذیرش: 1400/12/27 | انتشار: 1401/6/11
ارسال نظر درباره این مقاله : نام کاربری یا پست الکترونیک شما:
CAPTCHA
ارسال پیام به نویسنده مسئول

بازنشر اطلاعات
Creative Commons License این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License (CC BY NC 4.0) قابل بازنشر است.

کلیه حقوق این وب سایت متعلق به نشریه مهندسی برق و الکترونیک ایران می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2025 CC BY-NC 4.0 | Journal of Iranian Association of Electrical and Electronics Engineers

Designed & Developed by : Yektaweb