دوره 19، شماره 3 - ( مجله مهندسی برق و الکترونیک ایران - جلد 19 شماره 3 1401 )                   جلد 19 شماره 3 صفحات 121-113 | برگشت به فهرست نسخه ها


XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

vara Z, Mehran M. Design, analysis and simulation of capacitive tilt microsensors. Journal of Iranian Association of Electrical and Electronics Engineers. 2022; 19 (3) :113-121
URL: http://jiaeee.com/article-1-1056-fa.html
ورع زینب، مهران مهدیه. طراحی، تحلیل و شبیه سازی میکروسنسور شیب خازنی. نشریه مهندسی برق و الکترونیک ایران. 1401; 19 (3) :121-113

URL: http://jiaeee.com/article-1-1056-fa.html


بخش مهندسی برق- دانشگاه شهید باهنر- کرمان
چکیده:   (250 مشاهده)
در این مقاله برای اندازه‌گیری زاویه حول محور افقی (x)، میکرو‌سنسور های شیب خازنی مبتنی بر تکنولوژی MEMS طراحی، تحلیل و شبیه‌سازی شده اند. ساختار هر میکرو‌سنسور استوانه‌ای شکل است که خازن های بین انگشتی با الکترودهایی از جنس مس، بر روی یکی از قاعده های آن قرار گرفته اند. الکترودهای خازن‌های بین انگشتی به صورت یک در میان به ولتاژ های زمین و ترمینال وصل می شوند.  نیمی از حجم استوانه با روغن سیلیکون و نیمه­ دیگر با هوا پر شده است. با چرخش استوانه حول محور افقی به دلیل ثابت ماندن سطح روغن درون محفظه به علت گرانش، سطح الکترودهایی که درون روغن قرار می‌گیرند تغییرکرده، در نتیجه مقدار خازن های ساختار و بدنبال آن، خروجی تغییر می یابد. از این تغییرات برای اندازه‌گیری زاویه استفاده می‌شود. با یک تحلیل دقیق، تاثیر تغییرات زاویه بر ظرفیت خازن های ساختار و خروجی، مورد بررسی قرار گرفته است، بعلاوه ساختارهای پیشنهادی با کمک نرم­افزارCOMSOL Multiphysics شبیه­سازی شده­اند که نتایج حاصل از شبیه­سازی و تحلیل مؤید یکدیگر می باشند. دو ساختار به ترتیب با حساسیت های fF/deg 44 و  fF/deg88 زاویه را در بازه ° 90- تا °90+ یا °0 تا °180 اندازه گیری می کنند..
 
متن کامل [PDF 1821 kb]   (58 دریافت)    
نوع مقاله: پژوهشي | موضوع مقاله: الکترونیک
دریافت: 1398/10/21 | پذیرش: 1400/12/27 | انتشار: 1401/6/11

ارسال نظر درباره این مقاله : نام کاربری یا پست الکترونیک شما:
CAPTCHA

ارسال پیام به نویسنده مسئول


بازنشر اطلاعات
Creative Commons License این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License (CC BY NC 4.0) قابل بازنشر است.

کلیه حقوق این وب سایت متعلق به نشریه مهندسی برق و الکترونیک ایران می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2022 CC BY-NC 4.0 | Journal of Iranian Association of Electrical and Electronics Engineers

Designed & Developed by : Yektaweb