دوره 17، شماره 3 - ( مجله مهندسی برق و الکترونیک ایران - جلد 17 شماره 3 1399 )
جلد 17 شماره 3 صفحات 99-93 |
برگشت به فهرست نسخه ها
Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
Allameh M M, Fathipour M. Impact of BAW Gyroscope’s Proof Mass Perforation Shape on Matching Frequency of Its Drive and Sense Modes. Journal of Iranian Association of Electrical and Electronics Engineers 2020; 17 (3) :93-99
URL: http://jiaeee.com/article-1-1192-fa.html
URL: http://jiaeee.com/article-1-1192-fa.html
علامه محمد مهدی، فتحی پور مرتضی. بررسی تاثیر شکل سوراخ های جرم آزمون ژیروسکوپ موج آکوستیکی تودهای بر فرکانسی تطبیق مدهای تحریک و حسگری. نشریه مهندسی برق و الکترونیک ایران. 1399; 17 (3) :93-99
دانشکده مهندسی برق- دانشگاه آزاد واحد تهران جنوب
چکیده: (2305 مشاهده)
در طراحی ژیروسکوپ موج آکوستیکی تودهایBAW عموما لازم است که فرکانس تطبیق مدهای حسگری و تحریک بیشینه انتخاب گردند. چنین انتخابی فاکتورکیفیت ژیروسکوپ را بهبود میبخشد. دراین مقاله تاثیر شکل سوراخهایی را که در مرحله رهاسازی جرم آزمون ژیروسکوپBAW ایجاد میشوند بر فرکانس تطبیق مدهای حسگری و تحریک بررسی میکنیم. ژیروسکوپ از نوع حلقه بسته فرض شده است که بر بستر SOI ساخته می شود. بویژه دو وضعیت برای سوراخ های مخروطی شکل مورد مطالعه قرار گرفته است. اگر یال هر سوراخ با بستر، زاویه داخلی منفرجه بسازد، اختلاف فرکانس بین مدی کمتر و اگر زاویه داخلی حاده بسازد اختلاف فرکانس بین مدی بیشتر میشود.
ارسال پیام به نویسنده مسئول
| بازنشر اطلاعات | |
 |
این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License (CC BY NC 4.0) قابل بازنشر است. |
