fa ساختار متعامد چهار سیمی برای اندازه گیری دقیق سرعت و جهت فلوی سیال و باد با استفاده از میکرو ماشینکاری سیلیکان روی غشاء نیترید سیلیکان الکترونیک Electronic پژوهشي Research <span dir="RTL" lang="FA" style="font-size:11.0pt"><span b="" nazanin="" style="font-family:"><span style="background-color:#ffffff;">حسگرهای میکرو الکترومکانیکی حرارتی یکی از دقیقترین و مهترین </span><span style="background:yellow"><span style="background-color:#ffffff;">ابزارها</span></span><span style="background-color:#ffffff;"> برای تشخیص جهت و شدت یک سیال و موج آکوستیکی به حساب می&shy;آیند. تشخیص جهت و سرعت باد و هر سیالی در رنجهای مختلف کاربردهای مختلف از جمله هواشناسی، نیروگاه&shy;های بادی، اندازه گیری فلوی گاز در کنتورهای هوشمند شهری و گاز ورودی به نیروگاه های گازی، دارد. در این مقاله یک حسگر برای اندازه&shy;گیری همزمان سرعت و جهت سیال طراحی و ساخته شده است. از نرم افزار کامسول برای شبیه&shy;سازی و طراحی استفاده شده است. برای افزایش حساسیت و کاهش انتقال حرارت ساختار با بدنه حسگر، کل المان حسگری روی یک غشاء سیلیکانی ساخته شده است.&nbsp; برای تشخیص جهت از یک </span><span style="background:yellow"><span style="background-color:#ffffff;">ساختار چهار سیمی</span></span><span style="background-color:#ffffff;"> متعامد استفاده شده است که قابلیت اندازه&shy;گیری جهت را تا 5 درجه فراهم می کند. برای مشخصه یابی این حسگر یک ست آپ آزمایشگاهی طراحی و ساخته شد و حسگر تا سرعت های 5 متر بر ثانیه که بازه فلومترهای صنعتی، بادهای ملایم و کنتورهای گازهای شهری است مورد آزمایش قرار گرفت. با تغییر فاصله سیمها این حسگر قادر است تا سرعت های 30 متر بر ثانیه را اندازه &shy;گیری کند. </span></span></span> <span style="font-size:10pt"><span new="" roman="" style="font-family:" times=""><span style="background-color:#ffffff;">Microelectromechanical thermal sensors are one of the most accurate and important tools for measuring the direction and velocity of an acoustic wave and winds. Detection of wind direction and speed in different ranges has different applications such as meteorology, wind power plants, gas flow measurement in smart building and gas consumption of power plants. In this paper, a four wires sensor is designed and built to measure the velocity and direction of a fluid simultaneously. Comsol Multi-physics software has been used for simulation and design. To increase the sensitivity of the sensor, the all of sensor elements are fabricated on a silicon membrane to reduce the heat transfer of the structure with the sensor body. To detect the direction, </span><span style="background:yellow"><span style="background-color:#ffffff;">a four-wire</span></span><span style="background-color:#ffffff;"> and orthogonal structure has been used, which provides the ability to measure the direction up to 5 degrees. A test set-up was designed and built to characterize this sensor, and the sensor was tested up to speeds of 5 meters per second, which is the range of industrial flow-meters, wind and gasometer of smart building. By changing the distance of the wires, this sensor is able to measure speeds of 30m/s. &nbsp;</span><b><span dir="RTL" lang="FA" style="font-size:11.0pt"><span style="font-family:"B Nazanin""></span></span></b></span></span><br> <span style="background-color:#ffffff;">&nbsp;</span> حسگر میکرو الکترومکانیکی, حسگر تشخیص جریان هوا, حسگر تشخیص سرعت سیال, حسگر حرارتی, میکروماشینکاری تودهای, سیم داغ, بادسنج Microelectromechanical sensor, Air flow sensor, Fluid velocity sensor, Heat sensor, Bulk Micromachining, Hot wire, Anemometer 1 8 http://jiaeee.com/browse.php?a_code=A-10-474-1&slc_lang=fa&sid=1 Mehdi Kheirolahi Hossein Abadi مهدی خیرالهی حسین آبادی mehdi.kheirolahi@ut.ac.ir 100319475328460010094 100319475328460010094 No University of Tehran دانشکده علوم و فنون نوین- دانشگاه تهران Javad Koohsorkhi جواد کوهسرخی koohsorkhi@ut.ac.ir 100319475328460010095 100319475328460010095 Yes University of Tehran دانشکده علوم و فنون نوین- دانشگاه تهران Amir Ghasemi Kordlar امیر قاسمی کردلر amir.ghasemi96@ut.ac.ir 100319475328460010096 100319475328460010096 No University of Tehran دانشکده علوم و فنون نوین- دانشگاه تهران