fa بررسی تاثیر شکل سوراخ های جرم آزمون ژیروسکوپ موج آکوستیکی توده‌ای بر فرکانسی تطبیق مدهای تحریک و حسگری کنترل Control پژوهشي Research <span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">در طراحی ژیروسکوپ موج آکوستیکی توده&shy;ای</span></span><span dir="LTR" style="font-weight:normal;"><span style="font-size:10.0pt;">BAW</span></span><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> عموما لازم است که فرکانس تطبیق مدهای حسگری و تحریک بیشینه انتخاب گردند. چنین انتخابی فاکتورکیفیت ژیروسکوپ را بهبود می&shy;بخشد. دراین مقاله تاثیر شکل سوراخ&shy;هایی را که در مرحله رها&shy;سازی جرم آزمون ژیروسکوپ</span></span><span dir="LTR" style="font-weight:normal;"><span style="font-size:10.0pt;">BAW</span></span><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> ایجاد می&shy;شوند بر فرکانس تطبیق مدهای حسگری و تحریک بررسی می&shy;کنیم. ژیروسکوپ از نوع حلقه بسته فرض شده است که بر بستر </span></span><span dir="LTR"><span style="font-family:Calibri,sans-serif;"><span style="font-size:11.0pt;">SOI</span></span></span><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> ساخته می شود</span></span><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">. بویژه دو وضعیت برای سوراخ های مخروطی شکل مورد مطالعه قرار گرفته است. اگر یال هر سوراخ با بستر، زاویه داخلی منفرجه بسازد، اختلاف فرکانس بین مدی کمتر و اگر زاویه&nbsp; داخلی حاده بسازد اختلاف فرکانس بین مدی بیشتر می&shy;شود</span></span><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">.</span></span> For the balk acoustic wave (BAW) gyroscopes it is desired to maximize the matching frequency of the drive and the sense modes, since this improves the quality factor of the device. In this paper, the effect of perforation shape formed during the fabrication release steps of a BAW gyroscope upon its sense / drive mode matching frequency is examined.The Gyroscope is assumed to be a closed loop built employing SOI technology. In particular, we have considered the effects of two categories of perforation shapes. If the proof mass holes are cone-shaped with interior obtuse angle, mismatch frequency between modes becomes smaller but if cones are made with interior acute angle, mismatch frequency increases. <span dir="RTL"></span> تطبیق فرکانس, جرم آزمون, ژیروسکوپ موج آکوستیکی توده ای BAW, سوراخکاری Frequency matching, Proof mass, BAW gyroscope, Perforating. 93 99 http://jiaeee.com/browse.php?a_code=A-10-540-1&slc_lang=fa&sid=1 Mohammad mehdi Allameh محمد مهدی علامه st_m_allameh@azad.ac.ir 10031947532846006574 10031947532846006574 Yes , Department of Electrical Engineering,South Tehran Branch, Islamic Azad University دانشکده مهندسی برق- دانشگاه آزاد واحد تهران جنوب Morteza Fathipour مرتضی فتحی پور mfathi@ut.ac.ir 10031947532846006575 10031947532846006575 No , Device ModelingandSimulation Lab., Faculty of Computer and Electrical Engineering آزمایشگاه شبیه سازی و مدل سازی افزاره، دانشکده مهندسی برق وکامپیوتر- دانشگاه تهران