fa طراحی، تحلیل و شبیه سازی میکروسنسور شیب خازنی الکترونیک Electronic پژوهشي Research <span dir="RTL">در این مقاله برای اندازه‌گیری زاویه حول محور افقی </span>(x)<span dir="RTL">، میکرو‌سنسور های شیب خازنی مبتنی بر تکنولوژی </span>MEMS<span dir="RTL"> طراحی، تحلیل و شبیه‌سازی شده اند. ساختار هر میکرو‌سنسور استوانه‌ای شکل است که خازن های بین انگشتی با الکترودهایی از جنس مس، بر روی یکی از قاعده های آن قرار گرفته اند</span>. الکترودهای خازن‌های بین انگشتی به صورت یک در میان به ولتاژ های زمین و ترمینال وصل می شوند.&nbsp; نیمی از حجم استوانه با روغن سیلیکون و نیمه&shy; دیگر با هوا پر شده است. با چرخش استوانه حول محور افقی به دلیل ثابت ماندن سطح روغن درون محفظه به علت گرانش، سطح الکترودهایی که درون روغن قرار می‌گیرند تغییرکرده، در نتیجه مقدار خازن های ساختار و بدنبال آن، خروجی تغییر می یابد. از این تغییرات برای اندازه‌گیری زاویه استفاده می‌شود. با یک تحلیل دقیق، تاثیر تغییرات زاویه بر ظرفیت خازن های ساختار و خروجی، مورد بررسی قرار گرفته است، بعلاوه ساختارهای پیشنهادی با کمک نرم&shy;افزارCOMSOL Multiphysics<span dir="RTL"> شبیه&shy;سازی شده&shy;اند که نتایج حاصل از شبیه&shy;سازی و تحلیل مؤید یکدیگر می باشند. دو ساختار به ترتیب با حساسیت های </span>fF/deg<span dir="RTL"> 44 و </span>&nbsp;fF/deg<span dir="RTL">88 زاویه را در بازه </span><span dir="RTL">&deg;</span><span dir="RTL"> 90- تا </span><span dir="RTL">&deg;</span><span dir="RTL">90+ یا </span><span dir="RTL">&deg;</span><span dir="RTL">0 تا </span><span dir="RTL">&deg;</span><span dir="RTL">180 اندازه گیری می کنند</span>.<span dir="LTR">.</span><br> &nbsp; In this paper, capacitive tilt micro sensors based on the MEMS technology are designed, analyzed and simulated. These micro sensors are cylindrical and interdigital capacitors (IDC) of the structure from copper, are located on one of their bases. Electrodes of the IDCs are located on the same plate and connected to the ground or terminal voltage. Half of the cylinder is filled with the silicone oil while there is air in the other half. By rotating the cylinder around the x-axis, as the oil level inside the cylinder remains horizontal due to the gravity, position of the electrode&rsquo;s surfaces which are located inside the oil changes, so tilt around this axis is measured. Two structures are proposed to measure tilt around the x-axis. In this paper, using detailed analysis, the effect of the angular changes on the structural capacitors and outputs is investigated. Moreover, the proposed structures have been simulated by COMSOL Multiphysics software. The results of simulation and analysis are in good agreement. The measuring range of these structures is -90 &deg; to 90 &deg; or 0 &deg; to 180 &deg; &nbsp;with the sensitivity of 44 fF/deg and 88 fF/deg for one and two-capacitor structure, respectively. میکرو‌سنسور خازنی شیب, خازن‌های بین انگشتی, رنج اندازه‌گیری, حساسیت, دی الکتریک مایع. Tilt capacitive micro-sensors, interdigital capacitor, measuring range, sensitivity, liquid dielectric 113 121 http://jiaeee.com/browse.php?a_code=A-10-1796-1&slc_lang=fa&sid=1 zeinab vara زینب ورع nazaninzeinab.varaa@yahoo.com 10031947532846009622 10031947532846009622 No Shahid bahonar university of Kerman بخش مهندسی برق- دانشگاه شهید باهنر- کرمان Mahdiyeh Mehran مهدیه مهران m.mehran@uk.ac.ir 10031947532846009623 10031947532846009623 Yes Shahid bahonar university of Kerman بخش مهندسی برق- دانشگاه شهید باهنر- کرمان