مهدی خیرالهی حسین آبادی، دکتر جواد کوهسرخی، آقای امیر قاسمی کردلر،
دوره ۲۰، شماره ۱ - ( ۱-۱۴۰۲ )
چکیده
حسگرهای میکرو الکترومکانیکی حرارتی یکی از دقیقترین و مهترین ابزارها برای تشخیص جهت و شدت یک سیال و موج آکوستیکی به حساب میآیند. تشخیص جهت و سرعت باد و هر سیالی در رنجهای مختلف کاربردهای مختلف از جمله هواشناسی، نیروگاههای بادی، اندازه گیری فلوی گاز در کنتورهای هوشمند شهری و گاز ورودی به نیروگاه های گازی، دارد. در این مقاله یک حسگر برای اندازهگیری همزمان سرعت و جهت سیال طراحی و ساخته شده است. از نرم افزار کامسول برای شبیهسازی و طراحی استفاده شده است. برای افزایش حساسیت و کاهش انتقال حرارت ساختار با بدنه حسگر، کل المان حسگری روی یک غشاء سیلیکانی ساخته شده است. برای تشخیص جهت از یک ساختار چهار سیمی متعامد استفاده شده است که قابلیت اندازهگیری جهت را تا ۵ درجه فراهم می کند. برای مشخصه یابی این حسگر یک ست آپ آزمایشگاهی طراحی و ساخته شد و حسگر تا سرعت های ۵ متر بر ثانیه که بازه فلومترهای صنعتی، بادهای ملایم و کنتورهای گازهای شهری است مورد آزمایش قرار گرفت. با تغییر فاصله سیمها این حسگر قادر است تا سرعت های ۳۰ متر بر ثانیه را اندازه گیری کند.
