@ARTICLE{Allameh, author = {Allameh, Mohammad mehdi and Fathipour, Morteza and }, title = {Impact of BAW Gyroscope’s Proof Mass Perforation Shape on Matching Frequency of Its Drive and Sense Modes}, volume = {17}, number = {3}, abstract ={در طراحی ژیروسکوپ موج آکوستیکی توده­ایBAW عموما لازم است که فرکانس تطبیق مدهای حسگری و تحریک بیشینه انتخاب گردند. چنین انتخابی فاکتورکیفیت ژیروسکوپ را بهبود می­بخشد. دراین مقاله تاثیر شکل سوراخ­هایی را که در مرحله رها­سازی جرم آزمون ژیروسکوپBAW ایجاد می­شوند بر فرکانس تطبیق مدهای حسگری و تحریک بررسی می­کنیم. ژیروسکوپ از نوع حلقه بسته فرض شده است که بر بستر SOI ساخته می شود. بویژه دو وضعیت برای سوراخ های مخروطی شکل مورد مطالعه قرار گرفته است. اگر یال هر سوراخ با بستر، زاویه داخلی منفرجه بسازد، اختلاف فرکانس بین مدی کمتر و اگر زاویه داخلی حاده بسازد اختلاف فرکانس بین مدی بیشتر می­شود. }, URL = {http://jiaeee.com/article-1-1192-fa.html}, eprint = {http://jiaeee.com/article-1-1192-fa.pdf}, journal = {Journal of Iranian Association of Electrical and Electronics Engineers}, doi = {}, year = {2020} }