@ARTICLE{Esfandiari, author = {esfandiari, mehrnaz and asadi, reza and heydari, payam and }, title = {Design and Fabrication of Deformable Polymer Micromirror for Adaptive Optic Systems}, volume = {15}, number = {2}, abstract ={دراین مقاله روشی نوین جهت ساخت میکروآیینه انعطاف­پذیر پلیمری مبتنی­بر عملگرالکترواستاتیک ارائه شده­است. میکروآیینه­های انعطاف­پذیر معمولاً در سیستم­های اپتیک تطییقی جهت تصحیح اعوجاج­های موجود در جبهه موج نور بکار می­روند ازاین­رو می­بایست دارای دیافراگمی منعطف باشند. در این تحقیق دیافراگم میکروآئینه، از جنس پلیمرSU-8 ساخته شده و بر روی آرایه­ای از الکترودهای ثابت قرارگرفته­است. این دیافراگم با مدول یانگی حدود 50 برابر کمتر از نمونه­های رایج سیلیکونی، امکان جابجایی دیافراگم بیشتر و در نتیجه قابلیت تصحیح ابیراها با ولتاژ کمتر را مقدور می­سازند به گونه ای که دیافراگرم به شعاع mm5/2 و ضخامتμm 10 را با اعمال ولتاژ120ولت حدود μm 4 جابجا می کند . علاوه­براین، استفاده از مواد پلیمری بجای سیلیکون در ساخت دیافراگم، سادگی و کم­هزینه بودن فرآیند ساخت را نیز به همراه دارد. اما دیافراگم های پلیمری رایج، صافی سطح کمتری در مقایسه با نمونه­های سیلیکون دارند. دراین مقاله برای غلبه براین مشکل از راهکاری جدیدی برای ساخت میکروآیینه استفاده شده که علاوه­بر تمام مزایای آیینه پلیمری از نظر صافی سطح با نمونه­های سیلیکونی برابری می­کند. نتیجه اندازه گیری ناهمواری سطحی حدود واریانس ناهمواری سطح 20 نانومتر را نشان داد. همچنین، به منظور بهینه کردن طرح ساختاری از شبیه­سازی المان محدود استفاده شده است. }, URL = {http://jiaeee.com/article-1-648-fa.html}, eprint = {http://jiaeee.com/article-1-648-fa.pdf}, journal = {Journal of Iranian Association of Electrical and Electronics Engineers}, doi = {}, year = {2018} }