مجتمع مهندسی برق الکترونیک، دانشگاه مالک اشتر-تهران
چکیده: (3470 مشاهده)
دراین مقاله روشی نوین جهت ساخت میکروآیینه انعطافپذیر پلیمری مبتنیبر عملگرالکترواستاتیک ارائه شدهاست. میکروآیینههای انعطافپذیر معمولاً در سیستمهای اپتیک تطییقی جهت تصحیح اعوجاجهای موجود در جبهه موج نور بکار میروند ازاینرو میبایست دارای دیافراگمی منعطف باشند. در این تحقیق دیافراگم میکروآئینه، از جنس پلیمرSU-8 ساخته شده و بر روی آرایهای از الکترودهای ثابت قرارگرفتهاست. این دیافراگم با مدول یانگی حدود 50 برابر کمتر از نمونههای رایج سیلیکونی، امکان جابجایی دیافراگم بیشتر و در نتیجه قابلیت تصحیح ابیراها با ولتاژ کمتر را مقدور میسازند به گونه ای که دیافراگرم به شعاع mm5/2 و ضخامتμm 10 را با اعمال ولتاژ120ولت حدود μm 4 جابجا می کند . علاوهبراین، استفاده از مواد پلیمری بجای سیلیکون در ساخت دیافراگم، سادگی و کمهزینه بودن فرآیند ساخت را نیز به همراه دارد. اما دیافراگم های پلیمری رایج، صافی سطح کمتری در مقایسه با نمونههای سیلیکون دارند. دراین مقاله برای غلبه براین مشکل از راهکاری جدیدی برای ساخت میکروآیینه استفاده شده که علاوهبر تمام مزایای آیینه پلیمری از نظر صافی سطح با نمونههای سیلیکونی برابری میکند. نتیجه اندازه گیری ناهمواری سطحی حدود واریانس ناهمواری سطح 20 نانومتر را نشان داد. همچنین، به منظور بهینه کردن طرح ساختاری از شبیهسازی المان محدود استفاده شده است.
نوع مقاله:
پژوهشي |
موضوع مقاله:
الکترونیک دریافت: 1397/5/13 | پذیرش: 1397/5/13 | انتشار: 1397/5/13