دوره 15، شماره 2 - ( مجله مهندسی برق و الکترونیک ایران - جلد 15 شماره 2 1397 )                   جلد 15 شماره 2 صفحات 117-124 | برگشت به فهرست نسخه ها

XML English Abstract Print


مجتمع مهندسی برق الکترونیک، دانشگاه مالک اشتر-تهران
چکیده:   (282 مشاهده)
دراین مقاله روشی نوین جهت ساخت میکروآیینه انعطاف­پذیر پلیمری مبتنی­بر عملگرالکترواستاتیک ارائه شده­است. میکروآیینه­های انعطاف­پذیر معمولاً در سیستم­های اپتیک تطییقی جهت تصحیح اعوجاج­های موجود در جبهه موج نور بکار می­روند ازاین­رو می­بایست دارای دیافراگمی منعطف باشند. در این تحقیق دیافراگم میکروآئینه، از جنس پلیمرSU-8 ساخته شده و بر روی آرایه­ای از الکترودهای ثابت قرارگرفته­است. این دیافراگم با مدول یانگی حدود 50 برابر کمتر از نمونه­های رایج سیلیکونی، امکان جابجایی دیافراگم بیشتر و در نتیجه قابلیت تصحیح ابیراها با ولتاژ کمتر را مقدور می­سازند به گونه ای که دیافراگرم به شعاع mm5/2 و ضخامتμm 10 را با اعمال ولتاژ120ولت حدود μm 4 جابجا می کند . علاوه­براین، استفاده از مواد پلیمری بجای سیلیکون در ساخت دیافراگم، سادگی و کم­هزینه بودن فرآیند ساخت را نیز به همراه دارد. اما دیافراگم های پلیمری رایج، صافی سطح کمتری در مقایسه با نمونه­های سیلیکون دارند. دراین مقاله برای غلبه براین مشکل از راهکاری جدیدی برای ساخت میکروآیینه استفاده شده که علاوه­بر تمام مزایای آیینه پلیمری از نظر صافی سطح با نمونه­های سیلیکونی برابری می­کند. نتیجه اندازه گیری ناهمواری سطحی حدود واریانس ناهمواری سطح 20 نانومتر را نشان داد. همچنین، به منظور بهینه کردن طرح ساختاری از شبیه­سازی المان محدود استفاده شده است.
متن کامل [PDF 2843 kb]   (120 دریافت)    
نوع مقاله: پژوهشي | موضوع مقاله: الکترونیک
دریافت: ۱۳۹۷/۵/۱۳ | پذیرش: ۱۳۹۷/۵/۱۳ | انتشار: ۱۳۹۷/۵/۱۳