fa نانو لیتوگرافی با استفاده از روش نوشتن مستقیم لیزر فمتوثانیه الکترونیک Electronic پژوهشي Research <span dir="RTL" lang="FA" style="font-size:11.0pt"><span style="font-family:&quot;B Nazanin&quot;">این پژوهش به بررسی فرآیند نانولیتوگرافی با استفاده از روش نوشتن مستقیم لیزر فمتوثانیه پرداخته است. نانولیتوگرافی، یک فن‌آوری پیشرفته است که امکان ساخت ساختارهای میکروسکوپی و نانومتری را فراهم می‌کند. این فرآیند، علاوه بر توانایی در ساخت ادوات الکترونیکی بسیار کوچک و سریع همچون میکرو و نانوچیپ</span></span><span dir="RTL" lang="FA" style="font-size:11.0pt"><span style="font-family:&quot;Calibri&quot;,sans-serif">&shy;</span></span><span dir="RTL" lang="FA" style="font-size:11.0pt"><span style="font-family:&quot;B Nazanin&quot;">ها، در ساخت عناصر نانونوری انعطاف‌پذیر و قدرتمند برای مدارهای مجتمع نوری نیز کاربرد دارد. با استفاده از این تکنیک، توانایی ساخت موجبرها و میکرورینگ</span></span><span dir="RTL" lang="FA" style="font-size:11.0pt"><span style="font-family:&quot;Calibri&quot;,sans-serif">&shy;</span></span><span dir="RTL" lang="FA" style="font-size:11.0pt"><span style="font-family:&quot;B Nazanin&quot;">هایی با سطوح بسیار هموار بررسی شده است که منجر به کاهش چشمگیر اتلاف نوری هنگام پیشروی موج در این ساختارها می‌گردد. این فناوری می‌تواند در افزایش بهره‌وری و عملکرد ادوات بسیار مفید واقع شود.</span></span> <span style="font-size:10pt"><span style="font-family:&quot;Times New Roman&quot;,serif"><span style="color:black">This research has examined the process of nanolithography using the femtosecond laser direct writing method. Nanolithography is an advanced technology that enables the fabrication of microscopic and nanoscale structures. This process, in addition to the ability to produce very small and fast electronic devices such as micro and nanochips, is also used in the fabrication of flexible and powerful nanophotonic components for integrated photonic circuits. Using this technique, the ability to fabricate waveguides and micro-rings with very smooth surfaces has been investigated, which leads to a significant reduction in optical loss during wave propagation in these structures. This technology can be very useful in improving the efficiency and performance of various devices.</span></span></span><br> &nbsp; مدارهای مجتمع نوری, نانولیتوگرافی, روش نوشتن مستقیم لیزر فمتوثانیه, موجبرهای نوری, میکرورینگ‌, اتلاف نوری, جذب دو فوتونی : Integrated photonic circuits, Nanolithography, Femtosecond laser direct writing method, optical waveguides, Microring, Optical loss, Two photon Absorption 50 58 http://jiaeee.com/browse.php?a_code=A-10-3049-1&slc_lang=fa&sid=1 Mona Soraya مونا ثریا mona.soraya73@gmail.com 100319475328460013367 100319475328460013367 No Shahid Beheshti university دانشکده مهندسی برق، دانشگاه شهید بهشتی Gholam-Mohammad Parsanasab غلام محمد پارسانسب gm-parsanasab@sbu.ac.ir 100319475328460013365 100319475328460013365 Yes Shahid Beheshti university دانشکده مهندسی برق، دانشگاه شهید بهشتی Leila Hajshahvaladi لیلا حاج شاه ولدی l.hajshahvaladi@aut.ac.ir 100319475328460013366 100319475328460013366 No Shahid Beheshti university دانشکده مهندسی برق، دانشگاه شهید بهشتی